微導納米首臺百兆瓦鈣鈦礦ALD設備順利出貨

3月5日，微導納米在官微宣布，公司在近日出貨了首臺自主研發(fā)的大面積百兆瓦鈣鈦礦電池生產專用量產型原子層沉積（ALD）設備至行業(yè)頭部客戶，實現(xiàn)在大面積玻璃基底鈣鈦礦的技術應用，完成公司在鈣鈦礦電池領域的又一塊產業(yè)化拼圖，標志著該類型鈣鈦礦電池技術專用ALD設備正式進入產業(yè)化驗證階段。

本次提供的專用量產型ALD設備，主要應用于鈣鈦礦電池SnO2薄膜的制備。該設備克服了此鍍膜工藝需要的低溫、無損、大面積均勻制備等工藝難點，創(chuàng)新設計大面積ALD反應腔體，實現(xiàn)了鈣鈦礦產業(yè)化工藝節(jié)拍要求；重點優(yōu)化的流場設計和前驅體區(qū)隔系統(tǒng)，滿足了鈣鈦礦電池量產所需的膜厚均勻性等多項技術指標要求。

目前，微導納米已投入研發(fā)并推出多款適用于鈣鈦礦不同技術路線的專用薄膜設備平臺，全面覆蓋晶硅鈣鈦礦疊層路線、大面積玻璃基底鈣鈦礦路線和純柔性鈣鈦礦三條主流技術路線，可提供包含Al2O3、SnO2、NiOX、ITO、C60和高水氧阻隔等不同膜層的產業(yè)化量產裝備。