微導(dǎo)納米首臺(tái)百兆瓦鈣鈦礦ALD設(shè)備順利出貨

3月5日，微導(dǎo)納米在官微宣布，公司在近日出貨了首臺(tái)自主研發(fā)的大面積百兆瓦鈣鈦礦電池生產(chǎn)專用量產(chǎn)型原子層沉積（ALD）設(shè)備至行業(yè)頭部客戶，實(shí)現(xiàn)在大面積玻璃基底鈣鈦礦的技術(shù)應(yīng)用，完成公司在鈣鈦礦電池領(lǐng)域的又一塊產(chǎn)業(yè)化拼圖，標(biāo)志著該類(lèi)型鈣鈦礦電池技術(shù)專用ALD設(shè)備正式進(jìn)入產(chǎn)業(yè)化驗(yàn)證階段。

本次提供的專用量產(chǎn)型ALD設(shè)備，主要應(yīng)用于鈣鈦礦電池SnO2薄膜的制備。該設(shè)備克服了此鍍膜工藝需要的低溫、無(wú)損、大面積均勻制備等工藝難點(diǎn)，創(chuàng)新設(shè)計(jì)大面積ALD反應(yīng)腔體，實(shí)現(xiàn)了鈣鈦礦產(chǎn)業(yè)化工藝節(jié)拍要求；重點(diǎn)優(yōu)化的流場(chǎng)設(shè)計(jì)和前驅(qū)體區(qū)隔系統(tǒng)，滿足了鈣鈦礦電池量產(chǎn)所需的膜厚均勻性等多項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)要求。

目前，微導(dǎo)納米已投入研發(fā)并推出多款適用于鈣鈦礦不同技術(shù)路線的專用薄膜設(shè)備平臺(tái)，全面覆蓋晶硅鈣鈦礦疊層路線、大面積玻璃基底鈣鈦礦路線和純?nèi)嵝遭}鈦礦三條主流技術(shù)路線，可提供包含Al2O3、SnO2、NiOX、ITO、C60和高水氧阻隔等不同膜層的產(chǎn)業(yè)化量產(chǎn)裝備。